隨著光學技術的發展，對精密光學鍍膜的要求越來越高，例如超快激光光學元件、特殊激光光學元件對鍍膜都有非常高的要求。一般來講，基片/基材的價格和質量取決于材料,形狀，尺寸，公差和拋光質量。
材料
通常第一步就是決定基片的材料，基片材料最好對于所有波長的高透射率，幾乎沒有吸收。如果不是透射，則可以使用低成本材料，例如， Borofloat®（SCHOTT AG）用于金屬鏡面。其對于表面形狀公差，低熱膨脹都是有益的。、
形狀
選擇基片時必須考慮兩側的形狀，平面，凸面，楔形和凹面的所有組合都是可能的。楔形（例如 30'）可以應用在每種表面（平面以及凸面或凹面）上。對于彎曲基板，半徑符號有不同的約定。有時“+”表示凸，“ - ”表示凹。其他用戶將“+”和“ - ”稱為光傳播。在這種情況下，“+”表示“與傳播方向的曲率”，“ - ”表示“相對于傳播方向的曲率”。為避免混淆，需要明確地表明凹或凸。
用戶需要明確邊長和直徑，除非另有說明，否則厚度描述是指基板的最大厚度，即平凸基板的中心厚度和平凹基板的邊緣厚度。 因此，一般在較厚的一側測量楔形板。為了獲得良好的形狀公差，還應該注意直徑和厚度的比例。公差除尺寸和材料外，公差對成本也是最重要的。當然，光學元件必須適合安裝座，因此直徑不應大于規定值。最常見的規格是-0.1mm。大多數情況下，厚度在兩個方向上都是自由的。海納光學通常指定它的公差為±0.1mm。關于楔形，并行性和居中的規范存在很多混淆。請注意，楔形和平行度描述了光學表面之間的角度，而居中則描述了光學表面和側面之間的角度（見上圖）。海納光學標準基板具有優于 5arcmin 的平行度。特制的平行線可以具有低至 10 的平行度。標準楔形基板具有 0.5°或 1°的楔形。根據基板尺寸，可以實現更大的楔角。通常，與側表面成 90°的角度具有 20'的精度。定心是一種額外的光學處理，可將此精度提高到幾弧分arcmin。
表面形狀公差
表面形狀公差通常由干涉儀測量，并以λ為參考波長來表示。沒有進一步的陳述，參考波長是λ= 546nm。為避免混淆，必須清楚地區分平整度，功率和不規則性。在下文中，將針對平面表示平坦度和不規則性。一般而言，每個真實表面或多或少都是彎曲的。真實表面的“峰”和“谷”被平行平面覆蓋，這些平面之間的距離稱為平坦度。這種平坦性包括兩個貢獻。第一個貢獻是表面的球形彎曲，可以用“峰”和“谷”的兩個最佳擬合球體來描述。相對于理想平面的該曲率的矢狀表示為功率。這種球形彎曲不會影響反射光束的質量。它只會導致有限的焦距。第二個貢獻是最佳擬合球體的偏差，表示為不規則性。這是評價光學元件質量最重要的值。ISO 10110 標準提供了指定表面形狀公差的算法。與測量結果具有最佳可比性作為評價，所有值都以干涉條紋的數量給出。
涂層應力
通常薄的基材不能承受涂層應力。涂層會引起球形變形，這意味著發生了有限的表明弧高和功率微變化。在圓形基材的情況下，不規則性就不受該問題的影響。上述問題嚴重時，平坦度變差。然而，光束的質量不受影響。
